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基于色散条纹传感技术的拼接镜共相方法 期刊论文
光学学报, 2016, 期号: 9, 页码: 140-150
作者:  孟玉凰;  徐抒岩;  许博谦
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成像系统  共相检测  色散条纹传感器  拼接镜  活塞误差  
Method of segmented mirror co-phasing based on dispersed fringe sensing technology 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 9
作者:  Meng, Y.;  S. Xu and B. Xu
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光纤点衍射干涉仪中球面参考源偏振控制系统的设计 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 11, 页码: 136-142
作者:  代晓珂;  金春水;  王丽萍;  于杰
caj(1171Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：381/116  |  提交时间：2015/04/17
光学设计  极紫外光刻  光纤点衍射  球面参考源  偏振控制