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大幅宽高分辨光学卫星一体化结构多目标优化设计 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  杨林
caj(7628Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：143/0  |  提交时间：2020/08/24
卫星一体化结构  多目标优化  隔振设计  无成像微振动建模分析  试验验证  
阵列激光合束系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  程雪
caj(8396Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：148/0  |  提交时间：2020/08/24
阵列激光合束  光纤定位器  倾斜控制  相位控制  
压电促动器的纳米级精度控制及其在光刻物镜中的应用研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  李朋志
caj(10011Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：184/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  压电促动器  迟滞  模糊  运动控制  像差补偿