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甚大口径分体自重组式主镜系统关键技术研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  杨会生
caj(7695Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：222/0  |  提交时间：2020/08/24
分体自重组  甚大口径  共相技术  位姿调整  误差修正  参量解析  
光刻物镜系统波像差横向剪切干涉绝对检测方法研究 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  张璐
caj(6271Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：200/0  |  提交时间：2020/08/24
光刻物镜  光学检测  波像差  光栅横向剪切干涉仪  绝对检测  
基于TDLAS技术的小型化乙炔气体检测系统的研制 学位论文
, 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2019
作者:  陈越
caj(3843Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：136/0  |  提交时间：2020/08/24
TDLAS技术  乙炔气体浓度检测  波长调制技术  激光调制  可调节光程气室