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Refined grating fabrication using Displacement Talbot Lithography 期刊论文
Microelectronic Engineering, 2018, 卷号: 189, 页码: 74-77
作者:  Chen, H.;  Qin, L.;  Chen, Y. Y.;  Jia, P.;  Gao, F.;  Chen, C.;  Liang, L.;  Zhang, X.;  Lou, H. W.;  Ning, Y. Q.;  Wang, L. J.
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Refined grating fabrication  Displacement Talbot Lithography  Phase  shift mask  Photolighography  interferometric lithography  grids  Engineering  Science & Technology - Other Topics  Optics  Physics  
OPSR enhancement of high-temperature operating shallow-surface grating VCSELs 期刊论文
Applied Optics, 2018, 卷号: 57, 期号: 16, 页码: 4486-4490
作者:  Liu, Y. Y.;  Zhang, X.;  Huang, Y. W.;  Zhang, J. W.;  Hofmann, W.;  Ning, Y. Q.;  Wang, L. J.
浏览  |  Adobe PDF(964Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：342/101  |  提交时间：2019/09/17
displacement talbot lithography  high-contrast gratings  emitting  lasers  polarization control  mode  Optics