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狭缝柔性结构的光学元件超精密调节机构研究 期刊论文
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 2016, 期号: 6
作者:  董世则
收藏  |  浏览/下载：239/0  |  提交时间：2017/09/17
狭缝柔性结构  光刻物镜  调节机构  导向精度  精度测试