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全息光栅曝光系统干涉条纹静态及动态相位锁定技术研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  宋莹
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全息光栅曝光  扫描干涉场曝光  干涉条纹  移频式  静态相位锁定  动态相位锁定  Aom  
亚波长介质光栅设计简化模式法的修正及相关研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者:  王斌
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光栅刻划机300mm行程工作台研制及其自适应控制方法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 6, 页码: 175-182
作者:  李晓天;  于海利;  齐向东;  朱继伟;  于宏柱;  巴音贺希格
caj(724Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：375/110  |  提交时间：2015/04/17
光栅  光栅刻划机  宏微两级工作台  Bp神经网络  Pid控制  自适应控制