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光刻物镜波像差检测球面波发生装置的研制 期刊论文
仪器仪表学报, 2014, 期号: 7, 页码: 1518-1524
作者:  齐克奇;  向阳
caj(899Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：427/76  |  提交时间：2015/04/17
光刻物镜  波像差  剪切干涉  针孔  有限元方法  
十三步光栅横向剪切干涉相位复原算法 期刊论文
中国激光, 2014, 期号: 5, 页码: 184-187
作者:  方超;  向阳
caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：372/92  |  提交时间：2015/04/17
测量  横向剪切干涉仪  相移算法  相位复原