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芯片内微混合器及其制作方法 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-11-30, 公开日期: 2011-11-30
发明人:  张平;  胡亮红;  吴一辉;  刘永顺;  邓永波
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一种微流靶激光等离子体软Ｘ射线－极紫外光源 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-05-18, 公开日期: 2011-05-18
发明人:  尼启良;  陈波
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一种稳定的液体靶激光等离子体光源 (发明) 专利
专利类型: 发明专利, 申请日期: 2011-03-02, 公开日期: 2011-03-02
发明人:  尼启良;  陈波
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