中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	一种稳定的液体靶激光等离子体光源 (发明)
	尼启良; 陈波
	2011-03-02
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2011-03-02
专利类型	发明专利
摘要	一种稳定的液体靶激光等离子体光源，属于软Ｘ射线－极紫外光学技术领域中涉及的一种激光等离子体光源。要解决的技术问题是：提供一种稳定的液体靶激光等离子体光源。解决技术问题的技术方案包括激光束、聚光透镜、喷嘴、压电陶瓷振子、半导体致冷器、金属制冷管等部件。该光源分为上、下两部分，上部为金属制冷管和半导体致冷器制冷组成的制冷系……
资助项目	101111118B
申请号	200610017028.1
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11480
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	尼启良,陈波. 一种稳定的液体靶激光等离子体光源 (发明)[P]. 2011-03-02.

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