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Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
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Characteristics of Modulation Transfer Function of PixelCoupling Between Array Fiber Image Bundles and Array CCD 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 5
作者:  He, X.;  L. Yuan;  C. Jin and X. Zhang
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Beam Alignment Error and Its Control in Scanning Beam Interference Lithography System 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 7
作者:  Wang, W.;  Bayanheshig;  M. Pan;  Y. Song and W. Li
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