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Optical coatings for projection objective immersion lithography 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 5, 页码: 745-764
作者:  Bi, Dan-Dan;  Zhang, Li-Chao;  Shi, Guang
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Optical films  Integrated circuit manufacture  Irradiation  Lithography  Optical coatings  Optical systems  
Carbon nanodots and their composites for biomedical applications 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 3, 页码: 401-419
作者:  Wang Xiao-yun, 王晓筠;  Li Bo, 李 波;  Chen Li, 陈 力;  Li Di, 李 迪;  Qu Song-nan, 曲松楠;  Li Zhi-min, 李志民
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Nanodots  Biocompatibility  Chemotherapy  Clinical research  Diagnosis  Gene therapy  Medical applications  Medical imaging  Medical nanotechnology  Nanostructured materials  Nucleic acids  Photodynamic therapy  Photosensitizers  
Detection system of multilayer coating microstructure defects based on differential interference contrast confocal microscopy 期刊论文
Chinese Optics, 2018, 卷号: 11, 期号: 2, 页码: 255-264
作者:  Dai, Cen;  Gong, Yan;  Zhang, Hao;  Li, Dian-Meng;  Xue, Jin-Lai
Adobe PDF(2558Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：338/111  |  提交时间：2019/09/17
Multilayers  Coatings  Confocal microscopy  Defects  Diffraction  Extreme ultraviolet lithography  Microstructure