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边界位移调节量对薄膜反射镜成形的影响 期刊论文
半导体光电, 2010, 期号: 3
作者:  石广丰;  金光;  张鹏;  孙小伟
caj(218Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：407/109  |  提交时间：2012/09/25
静电拉伸  薄膜反射镜  预应力/预应变  边界位移  
静电拉伸薄膜反射镜成形机理研究 期刊论文
半导体光电, 2007, 期号: 4
作者:  孙小伟;  齐迎春;  金光
caj(293Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：346/75  |  提交时间：2012/09/25
静电拉伸薄膜反射镜  平板电容  半球模型  薄膜变形  
超薄薄膜反射镜面形光机集成分析 期刊论文
半导体光电, 2006, 卷号: 5, 期号: 27, 页码: 563
作者:  金光
caj(156Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：389/22  |  提交时间：2012/09/25