Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 超薄薄膜反射镜面形光机集成分析 | |
| 金光 | |
| 2006-10-30 | |
| 发表期刊 | 半导体光电
 |
| ISSN | 1001-5868 |
| 卷号 | 5期号:27页码:563 |
| 摘要 | 运用有限元法对不同工况下平面薄膜反射镜的变形进行了计算。用Gram-smith正交化方法处理了Zernike多项式,并编制了光机接口程序,计算Zernike系数,对反射镜波前进行拟合,对外载荷对超薄薄膜反射镜的影响进行了分析。 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/23770 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 金光. 超薄薄膜反射镜面形光机集成分析[J]. 半导体光电,2006,5(27):563. |
| APA | 金光.(2006).超薄薄膜反射镜面形光机集成分析.半导体光电,5(27),563. |
| MLA | 金光."超薄薄膜反射镜面形光机集成分析".半导体光电 5.27(2006):563. |
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| 超薄薄膜反射镜面形光机集成分析.caj（156KB） | 开放获取 | -- | 浏览 请求全文 | |||
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