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二元光学元件激光直写设备主轴速度调节的一种新方法 期刊论文
光电工程, 2001, 期号: 02, 页码: 4-6+18
作者:  熊木地;  张慧敏;  肖文礼;  邢忠宝
caj(72Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:364/70  |  提交时间:2013/03/11
二元光学  激光直写  主轴伺服控制  速度控制  自适应控制