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空间低温绝对辐射初级基准实验特性及测量精度评估 期刊论文
光学精密工程, 2021, 卷号: 29, 期号: 01, 页码: 10-20
作者:  衣小龙;  方伟;  林延东;  王玉鹏;  徐楠;  隋龙;  陈六彪;  夏志伟;  王凯;  叶新
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音圈致动快速反射镜的降阶自抗扰控制 期刊论文
光学精密工程, 2020, 卷号: 28, 期号: 06, 页码: 1365-1374
作者:  黄浦;  杨秀丽;  修吉宏;  李军;  李友一
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自抗扰控制  音圈致动  快速反射镜  降阶  带宽设计  
软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 2810-2816
作者:  陈家华;  龚学鹏;  薛松;  卢启鹏;  彭忠琦;  宋源;  王依
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同步辐射  光发射电子显微镜(Peem)  X射线显微镜  Kb镜  结构设计  
超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析 期刊论文
光学精密工程, 2013, 期号: 07, 页码: 1741-1747
作者:  高飒飒;  卢启鹏;  彭忠琦;  龚学鹏
caj(821Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：508/144  |  提交时间：2014/03/07
X射线干涉光刻光束线  精密狭缝  四刀结构  重复精度  有限元分析