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均匀光强分布的5kW半导体激光硬化光源研制 期刊论文
光学精密工程, 2017, 页码: 1178-1184
作者:  林星辰;  朱洪波;  王彪;  张亚维;  周成林;  宁永强;  王立军
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激光加工  高功率半导体激光器  激光光源  激光硬化  合束  
绝对式光栅尺母尺刻划曝光系统 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 7, 页码: 1814-1819
作者:  刘华;  卢振武;  熊峥;  王尧;  王鹤;  黄剑波;  谭向全;  孙强
caj(500Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:359/135  |  提交时间:2015/04/17
绝对式光栅尺  光栅码道  母尺刻划  数字微镜器件  曝光头  计量光栅