CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共2条,第1-2条 帮助

限定条件        
已选(0)清除 条数/页:   排序方式:
用于曲面光栅刻蚀的工作台轨迹拟合及测试误差分析 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 03, 页码: 588-596
作者:  沈晨;  谭鑫;  朱继伟;  张伟;  齐向东
收藏  |  浏览/下载:237/0  |  提交时间:2019/09/17
衍射光栅  曲面闪耀光栅  光栅刻蚀  三维工作台  圆弧拟合算法  轨迹误差  
大口径非球面系统的共基准加工与检验 期刊论文
光学精密工程, 2018, 期号: 04, 页码: 743-748
作者:  王孝坤;  薛栋林;  张学军
收藏  |  浏览/下载:178/0  |  提交时间:2019/09/17
光学加工  光学检测  非球面  三镜消像散系统  共基准  离子束加工