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深紫外光刻照明系统扩束单元设计 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 11, 页码: 1122004-1
作者:  赵阳;  巩岩;  张巍
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平面全息光栅刻线密度的倍频式调整方法 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 10, 页码: 1005003-1
作者:  巴音贺希格;  李文昊;  孔鹏
Adobe PDF(542Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：397/104  |  提交时间：2012/05/11