×
验证码:
换一张
忘记密码?
记住我
×
登录
中文版
|
English
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
登录
注册
ALL
ORCID
题名
作者
学科领域
关键词
资助项目
文献类型
出处
收录类别
出版者
发表日期
存缴日期
学科门类
学习讨论厅
图片搜索
粘贴图片网址
首页
研究单元&专题
作者
文献类型
学科分类
知识图谱
新闻&公告
在结果中检索
研究单元&专题
中科院长春光机所知识... [1]
作者
文献类型
期刊论文 [1]
发表日期
2014 [1]
语种
中文 [1]
出处
光学学报 [1]
资助项目
收录类别
资助机构
×
知识图谱
CIOMP OpenIR
开始提交
已提交作品
待认领作品
已认领作品
未提交全文
收藏管理
QQ客服
官方微博
反馈留言
浏览/检索结果:
共1条,第1-1条
帮助
限定条件
出处:光学学报
发表日期:2014
已选(
0
)
清除
条数/页:
5
10
15
20
25
30
35
40
45
50
55
60
65
70
75
80
85
90
95
100
排序方式:
请选择
发表日期升序
发表日期降序
期刊影响因子升序
期刊影响因子降序
题名升序
题名降序
作者升序
作者降序
提交时间升序
提交时间降序
WOS被引频次升序
WOS被引频次降序
极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用
期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 143-150
作者:
王君
;
金春水
;
王丽萍
;
郭本银
;
喻波
caj(491Kb)
  |  
收藏
  |  
浏览/下载:545/197
  |  
提交时间:2015/04/17
成像系统
光学设计
极紫外光刻
等效工作界面
多层膜
能量守恒