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波像差的梯度偏离值评价方法（英文） 期刊论文
光子学报, 2015, 期号: 12, 页码: 70-75
作者:  宋淑梅
caj(2739Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：314/59  |  提交时间：2016/07/06
光学工程  光学检测  波像差检测  波像差梯度  
光刻物镜波像差检测平台移相装置的研制 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1452-1455
作者:  齐克奇;  向阳
caj(1097Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：539/125  |  提交时间：2013/03/11
光刻投影物镜  波像差  相移测量  桥式放大机构  有限元  
大口径望远镜波像差的外场检验方法 期刊论文
光子学报, 2012, 期号: 01, 页码: 39-42
作者:  李宏壮;  王志臣;  王富国;  张振铎;  刘欣悦
caj(537Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：477/146  |  提交时间：2013/03/11
大口径望远镜  波像差检测  Shack-hartmann传感器