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Performance improvement of the Giant Steerable Science Mirror prototype: calibration, added-on damping treatment, and warping harness 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 36
作者:  An, Q. C.;  J. X. Zhang;  F. Yang;  H. C. Zhao and L. Wang
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Weighted iterative algorithm for beam alignment in scanning beam interference lithography 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 31
作者:  Song, Y.;  W. Wang;  S. Jiang;  Bayanheshig and N. Zhang
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Beam drift error and control technology for scanning beam interference lithography 期刊论文
Applied Optics, 2017, 卷号: 56, 期号: 14
作者:  Wang, W.;  Y. Song;  S. Jiang;  M. Z. Pan and Bayanheshing
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