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Impact of carbon contamination cleaning technologies on reflectivity of extreme ultraviolet lithography optics 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2017, 卷号: 44, 期号: 3
作者:  Wang, Y.;  Q. Lu and Y. Gao
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Design of Broad-Angle Extreme Ultraviolet Multilayer Coatings Based on Quantum Evolutionary Algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 6
作者:  Zhang, C.;  J. Zhang;  Y. Wang;  S. Kuang and Y. Xie
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Integrated design to complement aberrations of spherical focusing mirrors and concave holographic gratings in spectrometers 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 6
作者:  Zhao, X.;  Bayanheshig;  W. Li;  Y. Jiang and S. Yang
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Error analysis and eliminate methods for wavefront detection based on phase diversity algorithm 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 1
作者:  Yue, D.;  S. Xu;  H. Nie;  H. Ma and N. Liu
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Modeling and control of Tip/Tilt Mirror in liquid crystal adaptive optical system 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 4
作者:  Wang, Y.-K.;  L.-F. Hu;  C.-C. Wang and L. Xuan
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Analysis and Correction of Spectral Curvature in Hadamard Transform Spectrometer with DMD 期刊论文
Spectroscopy and Spectral Analysis, 2016, 卷号: 36, 期号: 2
作者:  Quan, X. Q.;  H. Liu;  Z. W. Lu;  X. D. Wang;  B. S. Dang;  X. Z. Chen and F. Wang
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Beam homogenized shaping and speckle suppression in laser projection display system using liquid crystal on silicon 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 12
作者:  Liang, C.;  W. Zhang;  D. Rui;  Y. Sui and H. Yang
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Optical design and stray light analysis for ultraviolet board width off-axis four mirrors optical system 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2015, 卷号: 42, 期号: 2
作者:  Zhu, Y.;  X. Zhang;  Y. Wu;  J. Zhang;  G. Shi and L. Wang
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Extreme ultraviolet lithography objective design based on grouping and graphical user interface 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2015, 卷号: 35, 期号: 12
作者:  Wang, J.;  L. Wang;  C. Jin;  L. Miao and Y. Xie
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基于折射/全反射/反射/折射结构的LED准直系统的设计 期刊论文
光学 精密工程, 2011, 卷号: 19, 期号: 7, 页码: 1472-1479
作者:  刘华;  孙强;  王鹤;  许家林;  刘英;  李也凡
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