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Design and experiment of active compensation system for thermal aberration of lithographic lens 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2017, 卷号: 37, 期号: 3
作者:  Dong, L.;  Q. Cui;  P. Li and L. Zhao
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Evaluation of absorption measurement uncertainty of laser calorimeter by exponential method 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2016, 卷号: 24, 期号: 2
作者:  Gu, Y.-Q.;  L.-C. Zhang;  X.-Y. Wu;  L. Mei and G. Shi
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Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文
Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5
作者:  Yao, C. and Y. Gong
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Research on deformation and aberration of active plate used in lithographic objective 期刊论文
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica, 2016, 卷号: 36, 期号: 4
作者:  Yao, C. and Y. Gong
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Design and analysis for the front imaging optical system of the spatiotemporal mixed modulated Fourier transform imaging spectrometer 期刊论文
Acta Physica Sinica, 2014, 卷号: 63, 期号: 10, 页码: 8
作者:  Wang W. C.;  Liang J. Q.;  Liang Z. Z.;  Lu J. G.;  Qin Y. X.;  Tian C.;  Wang W. B.
Adobe PDF(1777Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：347/129  |  提交时间：2015/04/24