中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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2016 [2]

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	Angle error investigation in laser tracker testing large aspheric mirrors 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 11 作者: Liu, L.; X. Chen; L. Xiong; F. Zhang and D. Xue 浏览 \| Adobe PDF(567Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：453/109 \| 提交时间：2017/09/11
	Research on temperature distribution of deep ultraviolet lithographic projection objective 期刊论文 Zhongguo Jiguang/Chinese Journal of Lasers, 2016, 卷号: 43, 期号: 5 作者: Yao, C. and Y. Gong 浏览 \| Adobe PDF(8729Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：294/116 \| 提交时间：2017/09/11

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