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Method for exposure dose monitoring and control in scanning beam interference lithography 期刊论文
Applied Optics, 2021, 卷号: 60, 期号: 10, 页码: 2767-2774
作者:  Y. Song;  Y. Liu;  S. Jiang;  Y. Zhu;  L. Zhang and Z. Liu
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Design of a subwavelength all-metal grating for generating azimuthally polarized beams based on modified particle swarm optimization 期刊论文
Applied Optics, 2019, 卷号: 58, 期号: 15, 页码: 4052-4058
作者:  C.L.Zhu;  Q.B.Jiao;  X.Tan;  W.Wang;  Bayanheshig
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Optics