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X射线干涉光刻光束线偏转镜系统的设计与测试 期刊论文
光学精密工程, 2014, 期号: 8, 页码: 2142-2150
作者:  龚学鹏;  卢启鹏;  彭忠琦
caj(308Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：278/110  |  提交时间：2015/04/17
上海同步辐射光源  X射线干涉光刻  偏转镜  结构设计  精度测试