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极紫外投影光刻原理装置的集成研究 期刊论文
光学学报, 2002, 期号: 07, 页码: 852-857
作者:  金春水;  马月英;  裴舒;  曹健林
caj(104Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：445/88  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  极紫外投影光刻  多层膜反射镜  Schwarzschild物镜