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Development and measurement of a parallel-type self-decoupling 2-dimension micro-motion stage 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 7
作者:  Qi, K.-Q.;  Y. Xiang;  Y.-L. Ding;  C. Fang and Z.-P. Zhou
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Development of spherical wave generating device for lithographic objective wavefront aberration detection 期刊论文
Yi Qi Yi Biao Xue Bao/中文 Journal of Scientific Instrument, 2014, 卷号: 35, 期号: 7, 页码: 1518-1524
作者:  Qi K.;  Xiang Y.
caj(899Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：279/70  |  提交时间：2015/04/24
A thirteen-step phase restoration algorithm in lateral shearing interferometry 期刊论文
Zhongguo Jiguang/中文 Journal of Lasers, 2014, 卷号: 41, 期号: 5
作者:  Fang C.;  Xiang Y.
caj(603Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：265/46  |  提交时间：2015/04/24