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利用泽尼克位相型光瞳滤波器实现景深延拓及超分辨 期刊论文
光学学报, 2015, 期号: 12, 页码: 144-149
作者:  刘江;  苗二龙;  王学亮;  隋永新;  杨怀江
caj(1227Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：402/110  |  提交时间：2016/07/06
成像系统  光瞳滤波器  景深延拓  超分辨  泽尼克多项式  
光刻机投影物镜热像差主动补偿方法研究 期刊论文
光学学报, 2014, 期号: 8, 页码: 139-142
作者:  陈华;  苏东奇;  隋永新;  章明朝;  田伟;  杨怀江;  张巍
caj(263Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：417/74  |  提交时间：2015/04/17
成像系统  热像差  主动补偿  光刻机  投影物镜  
基于变换的子孔径拼接新算法 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 09, 页码: 168-173
作者:  陈一巍;  王飞;  王高文;  隋永新;  杨怀江
caj(3292Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：341/91  |  提交时间：2014/03/07
测量  干涉仪  光学检测  子孔径拼接算法  变换  梯度  
用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 06, 页码: 110-116
作者:  高松涛;  隋永新;  杨怀江
caj(769Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：556/117  |  提交时间：2014/03/07
测量  非球面检测  计算全息图  绝对标定  
在随机和倾斜移相下光强归一化的迭代移相算法 期刊论文
光学学报, 2013, 期号: 01, 页码: 91-97
作者:  苏志德;  史振广;  苏东奇;  隋永新;  杨怀江
caj(694Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：453/147  |  提交时间：2014/03/07
测量  干涉仪  随机倾斜移相  迭代算法  背景光强  
旋转支撑法去除元件面形测量的夹持误差 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 8, 页码: 0812004-1
作者:  王平;  田伟;  王汝冬;  王立朋;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(1572Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：592/190  |  提交时间：2012/05/11
干涉检测中环境温度引起的镜面变形分析 期刊论文
光学学报, 2011, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 112007
作者:  史振广;  隋永新;  杨怀江
Adobe PDF(793Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：458/133  |  提交时间：2012/05/11