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偏晶向(111)硅片闪耀光栅的设计 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 04, 页码: 18-21+26
作者:  鞠挥;  张平;  王淑荣;  吴一辉
caj(46Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：406/56  |  提交时间：2013/03/11
(111)硅片  闪耀光栅  体硅技术  微制造  Mems  湿法腐蚀  
PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 02, 页码: 54-58
作者:  白兰;  吴一辉;  张平;  王淑荣
caj(86Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：352/62  |  提交时间：2013/03/11
微泵  Pdms薄膜  Ndfeb薄片  电磁驱动  
双转子平面微电机定子制作工艺研究 期刊论文
微细加工技术, 2003, 期号: 01, 页码: 73-75+80
作者:  梁静秋;  郭占社;  吴一辉;  王淑荣;  张平;  宣明
caj(71Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：426/82  |  提交时间：2013/03/11
双转子  平面微电机  定子  孔引线  准liga技术