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基于光强轮廓结构的偏振无关高衍射效率二维光栅(特邀)
姜岩秀; 王瑞鹏; 孙雨琦; 王新宇; 李文昊
2024-10-25
发表期刊激光与光电子学进展
卷号61期号:20页码:84-92
摘要针对目前二维光栅设计结构单一、与实际结构不匹配的问题,提出一种金属-介质二维光栅。该光栅不仅具有优异的偏振无关性和高衍射效率,而且其结构更符合实际制备的形貌。基于双光束正交曝光单周期干涉场强度分布,构建基于光强轮廓的二维光栅设计结构,采用傅里叶模态法和粒子群算法对光栅进行优化设计。结果表明,最优参数下,设计的二维光栅在波长为780 nm处以Littrow角入射时,横电、横磁偏振光的衍射效率均大于95%,并且具有优异的偏振无关性和较大的制备容差。此外,对比同结构参数下传统圆台、棱台结构的二维光栅衍射效率,结果表明光栅结构的微小变化对二维光栅衍射效率的影响较大,基于光强轮廓的设计结构可有效提高光栅设计与实际的匹配度。研究工作可为位移测量领域高精度二维光栅的研制提供理论基础。
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/68600
专题中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
作者单位1.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
2.中国科学院大学大珩学院
推荐引用方式
GB/T 7714
姜岩秀,王瑞鹏,孙雨琦,等. 基于光强轮廓结构的偏振无关高衍射效率二维光栅(特邀)[J]. 激光与光电子学进展,2024,61(20):84-92.
APA 姜岩秀,王瑞鹏,孙雨琦,王新宇,&李文昊.(2024).基于光强轮廓结构的偏振无关高衍射效率二维光栅(特邀).激光与光电子学进展,61(20),84-92.
MLA 姜岩秀,et al."基于光强轮廓结构的偏振无关高衍射效率二维光栅(特邀)".激光与光电子学进展 61.20(2024):84-92.
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