Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统 | |
戴岑; 巩岩 ; 张昊; 李佃蒙; 薛金来
| |
| 2018 | |
| 发表期刊 | 中国光学
 |
| 期号 | 02页码:255-264 |
| 摘要 | 多层膜极紫外光刻掩模"白板"缺陷是制约下一代光刻技术发展的瓶颈之一,为提高对掩模"白板"上的膜层微结构缺陷的分辨能力,提出了一种微分干涉差共焦显微探测系统方案。基于标量衍射理论,计算了系统横向和轴向分辨率。利用MATLAB建模仿真,在数值孔径为0.65、工作波长为405 nm时,分析比较了微分干涉差共焦显微系统、传统显微系统和共焦显微系统的分辨率。结果表明微分干涉差共焦显微系统具有230 nm的横向分辨率和25 nm轴向台阶高度差的分辨能力(对应划痕等缺陷形式)。此外,仿真和分析了实际应用中探测器尺寸、样品轴向偏移等的影响,模拟分析了膜层微结构缺陷的探测,结果表明本系统可以探测200 nm宽、10 nm高的微结构缺陷,较另外两种系统有更好的探测能力。 |
| 关键词 | 共焦显微 微分干涉差 标量衍射 膜层结构 缺陷探测 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/61484 |
| 专题 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 戴岑,巩岩,张昊,等. 微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统[J]. 中国光学,2018(02):255-264. |
| APA | 戴岑,巩岩,张昊,李佃蒙,&薛金来.(2018).微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统.中国光学(02),255-264. |
| MLA | 戴岑,et al."微分干涉差共焦显微膜层微结构缺陷探测系统".中国光学 .02(2018):255-264. |
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