Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究 | |
| 赵菲菲 | |
| 学位类型 | 硕士 |
| 导师 | 黄玮 |
| 2013-11-28 | |
| 学位授予单位 | 中国科学院大学 |
| 学位专业 | 光学 |
| 关键词 | 计算机辅助装调 S-h波前传感器 投影光刻物镜 质心探测精度 阈值选取 |
| 语种 | 中文 |
| 文献类型 | 学位论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/39575 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵菲菲. S-H波前传感器在计算机辅助装调中的应用研究[D]. 中国科学院大学,2013. |
| 条目包含的文件 | ||||||
| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 赵菲菲.pdf（2200KB） | 开放获取 | CC BY-NC-ND | 请求全文 | |||
| 个性服务 |
| 推荐该条目 |
| 保存到收藏夹 |
| 查看访问统计 |
| 导出为Endnote文件 |
| 谷歌学术 |
| 谷歌学术中相似的文章 |
| [赵菲菲]的文章 |
| 百度学术 |
| 百度学术中相似的文章 |
| [赵菲菲]的文章 |
| 必应学术 |
| 必应学术中相似的文章 |
| [赵菲菲]的文章 |
| 相关权益政策 |
| 暂无数据 |
| 收藏/分享 |
除非特别说明，本系统中所有内容都受版权保护，并保留所有权利。
修改评论