Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
均匀软X射线多层膜制备方法研究 | |
金春水; 林强; 马月英; 裴舒; 曹健林 | |
2003-05-25 | |
发表期刊 | 强激光与粒子束 |
期号 | 05页码:444-446 |
关键词 | 软x射线 多层膜 磁控溅射 均匀性 |
文献类型 | 期刊论文 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30014 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 金春水,林强,马月英,等. 均匀软X射线多层膜制备方法研究[J]. 强激光与粒子束,2003(05):444-446. |
APA | 金春水,林强,马月英,裴舒,&曹健林.(2003).均匀软X射线多层膜制备方法研究.强激光与粒子束(05),444-446. |
MLA | 金春水,et al."均匀软X射线多层膜制备方法研究".强激光与粒子束 .05(2003):444-446. |
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