CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
均匀软X射线多层膜制备方法研究
金春水; 林强; 马月英; 裴舒; 曹健林
2003-05-25
发表期刊强激光与粒子束
期号05页码:444-446
关键词软x射线 多层膜 磁控溅射 均匀性
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/30014
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
金春水,林强,马月英,等. 均匀软X射线多层膜制备方法研究[J]. 强激光与粒子束,2003(05):444-446.
APA 金春水,林强,马月英,裴舒,&曹健林.(2003).均匀软X射线多层膜制备方法研究.强激光与粒子束(05),444-446.
MLA 金春水,et al."均匀软X射线多层膜制备方法研究".强激光与粒子束 .05(2003):444-446.
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