Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备 | |
| 邱法斌; 骆文生; 张玉; 刘传珍; 荆海; 黄锡珉 | |
| 2001-09-15 | |
| 发表期刊 | 液晶与显示
 |
| 期号 | 03页码:170-175 |
| 关键词 | 多晶硅膜 准分子激光烧结 玻璃衬底 制备 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/28482 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 邱法斌,骆文生,张玉,等. 准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备[J]. 液晶与显示,2001(03):170-175. |
| APA | 邱法斌,骆文生,张玉,刘传珍,荆海,&黄锡珉.(2001).准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备.液晶与显示(03),170-175. |
| MLA | 邱法斌,et al."准分子激光烧结玻璃衬底上多晶硅薄膜材料的制备".液晶与显示 .03(2001):170-175. |
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