Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
| 点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究 | |
于长淞
| |
| 2012-12-15 | |
| 发表期刊 | 长春理工大学学报(自然科学版)
 |
| 期号 | 04页码:24-26+30 |
| 关键词 | 光学器件 小孔掩模 聚焦离子束 扫描电镜 |
| 文献类型 | 期刊论文 |
| 条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/27452 |
| 专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
| 推荐引用方式 GB/T 7714 | 于长淞. 点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究[J]. 长春理工大学学报(自然科学版),2012(04):24-26+30. |
| APA | 于长淞.(2012).点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究.长春理工大学学报(自然科学版)(04),24-26+30. |
| MLA | 于长淞."点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究".长春理工大学学报(自然科学版) .04(2012):24-26+30. |
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| 文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
| 点衍射干涉仪小孔掩模制备与检测技术研究.（1837KB） | 开放获取 | -- | 浏览 下载 | |||
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