CIOMP OpenIR  > 中科院长春光机所知识产出
用于光开关的阵列准直耦合组件 (实用新型)
赵莉娜; 梁静秋; 董玮; 陈维友
2006-11-22
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2006-11-22
专利类型实用新型
摘要本实用新型属于微光机电器件技术领域,涉及一种微机械光开关。本实用新型用于光开关的阵列准直耦合组件包括基座,凹坑,V形槽,入射准直器、第一出射准直器、第二出射准直器;本实用新型通过采用微加工技术的光刻、腐蚀等技术手段制作了硅材料基座,并利用硅材料基座为模具制作有机材料基座,解决了加工难度大的问题。用一个硅基座为模具可重复……
资助项目2840077
申请号200520029477.9
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12530
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
赵莉娜,梁静秋,董玮,等. 用于光开关的阵列准直耦合组件 (实用新型)[P]. 2006-11-22.
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