Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
用于光开关的阵列准直耦合组件 (实用新型) | |
赵莉娜; 梁静秋; 董玮; 陈维友 | |
2006-11-22 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2006-11-22 |
专利类型 | 实用新型 |
摘要 | 本实用新型属于微光机电器件技术领域,涉及一种微机械光开关。本实用新型用于光开关的阵列准直耦合组件包括基座,凹坑,V形槽,入射准直器、第一出射准直器、第二出射准直器;本实用新型通过采用微加工技术的光刻、腐蚀等技术手段制作了硅材料基座,并利用硅材料基座为模具制作有机材料基座,解决了加工难度大的问题。用一个硅基座为模具可重复…… |
资助项目 | 2840077 |
申请号 | 200520029477.9 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12530 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵莉娜,梁静秋,董玮,等. 用于光开关的阵列准直耦合组件 (实用新型)[P]. 2006-11-22. |
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文件名称/大小 | 文献类型 | 版本类型 | 开放类型 | 使用许可 | ||
CN200600284007700000(293KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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