中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

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	干涉式高密度圆光栅偏心检测装置 (发明)
	艾华; 曹艳波
	2012-07-11
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	干涉式高密度圆光栅偏心检测装置涉及精密仪器检测领域，该检测装置包括一号激光器（１）、一号准直镜（２）、副光栅盘（４）、一号光电接收器（５）、二号光电接收器（６）、二号准直镜（７）、二号激光器（８）、主轴（９）、轴套（１０）、光栅连接座（１１）和示波器。利用光栅盘使单束光线发生两次衍射后再发生干涉，光电接收器接收干涉条纹……
资助项目	102564308A
申请号	201110451038.7
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12200
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	艾华,曹艳波. 干涉式高密度圆光栅偏心检测装置 (发明)[P]. 2012-07-11.

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CN201210256430800000（502KB）			开放获取	--	浏览 下载

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