ＡｒＦ激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 (发明)

	ＡｒＦ激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 (发明)
	邓文渊; 金春水; 靳京城
	2012-05-02
专利权人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期	2012-08-29
专利类型	发明专利
摘要	本发明涉及一种ＡｒＦ激光光学薄膜元件综合偏振测量装置，该装置的ＡｒＦ准分子激光器、ＡｒＦ准分子激光扩束准直装置、可变光阑、起偏器、分束器、样品台沿主光轴顺序放置；参比光偏振探测装置位于分束器的反射光路上，样品台位于分束器的透射光路上；透射光偏振测量装置固定安装在第一可旋转支撑臂上，反射光偏振探测装置固定安装在第二可旋转……
资助项目	102435418A
申请号	201110272811.3
文献类型	专利
条目标识符	http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/12091
专题	中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式 GB/T 7714	邓文渊,金春水,靳京城. ＡｒＦ激光光学薄膜元件综合偏振测量装置及测量方法 (发明)[P]. 2012-05-02.