Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 (发明) | |
赵磊![]() ![]() ![]() ![]() | |
2012-06-13 | |
专利权人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
公开日期 | 2012-06-13 |
专利类型 | 发明专利 |
摘要 | 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置,涉及深紫外投影光刻物镜结构设计与装调技术领域,它解决现有光学元件轴向调整装置轴向调整时引起径向误差的问题,本发明从整体上可以看作物镜的一个镜筒单元,通过轴孔精密配合将镜座放入镜筒中;将滑架安装在镜筒外圆柱面上,镜座对镜框组件进行调心,并通过导钉实现滑架与内部镜框组件的连接。三个压…… |
资助项目 | 102169218B |
申请号 | 201110127030.5 |
文献类型 | 专利 |
条目标识符 | http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11952 |
专题 | 中科院长春光机所知识产出 |
推荐引用方式 GB/T 7714 | 赵磊,巩岩,张巍,等. 一种具有调心功能的光学元件轴向调整装置 (发明)[P]. 2012-06-13. |
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CN201110216921800000(364KB) | 开放获取 | -- | 浏览 下载 |
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