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平面全息光栅制作中光栅基底的零级光定位方法 (发明)
孔鹏; 李文昊; 巴音贺希格; 齐向东; 唐玉国
2011-05-18
专利权人中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
公开日期2011-05-18
专利类型发明专利
摘要平面全息光栅制作中光栅基底的零级光定位方法,属于光谱技术领域中涉及的一种光栅基底的定位方法。要解决的技术问题是提供一种平面全息光栅制作中光栅基底的零级光定位方法。技术方案为:步骤一,配备一套平面全息光栅曝光装置,该装置与已有技术中的全息光栅曝光装置完全一致;步骤二,在平面全息光栅曝光装置中,加入监测激光器和一个分划板,……
资助项目101718884B
申请号200910217814.X
文献类型专利
条目标识符http://ir.ciomp.ac.cn/handle/181722/11678
专题中科院长春光机所知识产出
推荐引用方式
GB/T 7714
孔鹏,李文昊,巴音贺希格,等. 平面全息光栅制作中光栅基底的零级光定位方法 (发明)[P]. 2011-05-18.
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