中文版 | English

在结果中检索

CIOMP OpenIR

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助

限定条件    
已选(0)清除 条数/页：   排序方式：
离子辅助沉积法制备SiO_2介质薄膜的应力研究 期刊论文
发光学报, 2012, 期号: 12, 页码: 1304-1308
作者:  张金胜;  张金龙;  宁永强
caj(494Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：596/133  |  提交时间：2013/03/11
离子辅助沉积  Sio2薄膜  应力  退火