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薄膜应力测量方法研究 期刊论文
激光与光电子学进展, 2004, 期号: 09, 页码: 28-32
作者:  王成;  张贵彦;  马莹;  肖孟超;  钱龙生
caj(316Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：330/62  |  提交时间：2013/03/11
光学  薄膜  应力  激光干涉  激光偏转  X射线