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机刻光栅复合基底对薄膜内应力的影响研究 期刊论文
机械设计与制造, 2020, 期号: 05, 页码: 37-40
作者:  张宝庆;  张绍泽;  曹聪;  高劲松
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机刻光栅  复合基底  残余应力  薄膜  压痕  模拟  
残余应力与基底效应对光栅厚铝膜纳米压痕耦合影响研究 期刊论文
制造技术与机床, 2018, 期号: 06, 页码: 58-62
作者:  张宝庆;  王占鹏;  庞壮;  韦赟杰;  孙立华;  高劲松
收藏  |  浏览/下载：173/0  |  提交时间：2019/09/17
残余应力  基底效应  纳米压痕  衍射光栅