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极紫外多层膜残余应力初步研究 期刊论文
强激光与粒子束, 2005, 期号: 03, 页码: 377-380
作者:  向鹏;  金春水;  张立超;  金伟华;  刘颖敏;  曹健林
caj(98Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：441/67  |  提交时间：2013/03/11
极紫外  多层膜  残余应力