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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,CAS
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中科院长春光机所知识... [3]
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2010 [1]
2004 [1]
1998 [1]
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光机电信息 [3]
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出处:光机电信息
文献类型:期刊论文
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离轴三反空间相机外遮光罩组件的研制
期刊论文
光机电信息, 2010, 卷号: 27, 期号: 12
作者:
李志来
Unknown(638Kb)
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提交时间:2012/09/25
100nm步进扫描投影光刻机工件台、掩模台的发展
期刊论文
光机电信息, 2004, 期号: 05, 页码: 20-24
作者:
董吉洪
;
田兴志
;
李志来
;
王明哲
caj(666Kb)
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提交时间:2013/03/11
光刻机
工件台
掩模台
超高刚度自主式空气静压支承发展现状
期刊论文
光机电信息, 1998, 期号: 01, 页码: 9-11
作者:
李志来
caj(157Kb)
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浏览/下载:336/45
  |  
提交时间:2013/03/11
空气静压轴承
超高刚度
自主式节流器