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2m大口径RB-SiC反射镜的磁控溅射改性 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 7, 页码: 1557-1563
作者:  刘震;  高劲松;  刘海;  王笑夷;  王彤彤
caj(893Kb)  |  收藏  |  浏览/下载:402/104  |  提交时间:2017/09/17
光学加工  磁控溅射  表面改性  Rb-sic  大口径