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Development and measurement of a parallel-type self-decoupling 2-dimension micro-motion stage 期刊论文
Guangxue Jingmi Gongcheng/Optics and Precision Engineering, 2017, 卷号: 25, 期号: 7
作者:  Qi, K.-Q.;  Y. Xiang;  Y.-L. Ding;  C. Fang and Z.-P. Zhou
浏览  |  Adobe PDF(644Kb)  |  收藏  |  浏览/下载：319/93  |  提交时间：2018/06/13