中国科学院长春光学精密机械与物理研究所(CIOMP OpenIR): 检索

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	自由曲面光学透镜平滑DMD扫描光刻图形边缘期刊论文光子学报, 2019, 卷号: 48, 期号: 04, 页码: 71-79 作者: 孙彦杰; 刘华; 李金环; 陆子凤; 张莹; 罗钧 caj(4828Kb) \| 收藏 \| 浏览/下载：136/39 \| 提交时间：2020/08/24 数字微镜阵列扫描光刻自由曲面光学透镜成像线性错位图形边缘投影成像系统

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